最新建成的Cleanroom V大楼使EV Group 的NILPhotonics®与异构集成能力中心的洁净室容量和处理能力增加近一倍

2020年7月27日,奥地利,圣弗洛里安——为微机电系统(MEMS)、纳米技术和半导体市场提供晶圆键合与光刻设备的领先供应商EV Group(EVG)日前宣布,位于奥地利总部的洁净室设施Cleanroom V大楼已完成施工。新大楼采用自上而下的建造方式,运用最新的洁净室设计与施工技术,使EV Group总部的洁净室容量增加近一倍,将提供产品和工艺开发、设备演示、原型设计与试生产服务。Cleanroom V大楼隶属于去年公布的三千万欧元投资项目,将于八月正式开放。

EV Group的新Cleanroom V大楼

Cleanroom V新大楼与EV Group现有的洁净室和应用实验室直接相连，在原有基础上增加了约620平方米10级洁净室空间。新大楼还设有现代化培训中心，包括多个专用区域，可通过EV Group设备平台为客户和现场服务工程师提供培训。作为扩展投资的一部分，原有洁净室和应用实验室设施也进行了升级，创建了冗余系统，以实现最高等级可用性，增加新型安全功能。

Cleanroom V大楼内部，工作人员正在调试设备

　　增强EV Group卓越技术中心的实力

Cleanroom V新大楼将进一步增强EV Group NILPhotonics®与异构集成能力中心的实力(该中心致力于提供世界级的工艺开发服务),为微电子供应链上的客户和合作伙伴提供开放式创新孵化器。EV Group通过卓越技术中心实现纳米压印光刻技术和异构集成,帮助客户加快技术开发、最大程度地降低风险、开发拥有竞争优势的技术和产品,同时达到预发行产品所需要的最高知识产权保护标准。

Cleanroom V大楼先进的生产厂房设施

EVG技术开发和IP总监Markus Wimplinger表示：“新洁净室的建设运用了先进的创新与专业技术，令我们深感自豪。新洁净室是世界级的先进设施，每一处细节都近乎完美，与欧洲一些技术最先进的洁净室相比也毫不逊色。这一新设施将显著增强EV Group与客户合作开发未来应用和技术的实力。EV Group能力中心业务活动繁忙，市场需求十分可观，新洁净室设施将近一步推动能力中心的发展。NILPhotonics和异构集成能力中心提供的独特服务，帮助客户与合作伙伴缩短开发周期，在关键应用领域创造新型产品。”

EV Group拥有实力强大的技术能力中心和牢固的客户合作伙伴关系，在市场竞争中占据有利位置，可为客户提供不间断的工艺开发服务与支持。另一方面，EV Group的本地安装与支持团队以及远程支持服务也能实现EV Group设备的连续安装与运营。

美国洛杉矶国际半导体展览会(SEMICON West)于今年7月20日至23日以线上的方式举行，EV Group展示了完整的晶圆键合、光刻和光刻胶处理解决方案。如有意了解详情，请下载EV Group最新产品资讯。

关于 EV Group

EV Group是为半导体、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的领先供应商。其主要产品包括：晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/纳米压印(NIL)与计量设备，以及涂胶机、清洗机和检测系统。EV Group成立于1980年，可为遍及全球的众多客户和合作伙伴提供各类服务与支持。